Nimi ja malli: Zeiss/Opton Axiospeed FT
Yhteyshenkilö: Victor Ovchinnikov
Valmistusvuosi: 1988
Asennusvuosi: 1998 (old), 2002 (new)
Laitteen yleiskuvaus: System applies method of spectral analysis in reflected light
Käyttö: Measuring of transparent silicon layers
Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet: Measuring is automatic and has a high speed
Tärkeimmät spesifikaatiot:
Thickness range 50 nm - 5 µm
Accuracy of thickness measurements < 2.5 %
Time of measurement 0.5 s/point
Spectrum range 380 - 750 nm
Analyzed layer number up to 3
Valokuva:
Sijainti: Micronova Nanofabrication Centre - cleanroom section F8. Tietotie 3, 02150 Espoo
Kaupunki: Espoo
Lisätietoja:
Varaaminen: http://www.micronova.fi/booking
Oletko varma että haluat poistaa laitteen?