Chemical Vapour Deposition

Nimi ja malli: Kurt J. Lesker, experimental

Yhteyshenkilö: Pertti Pääkkönen

Valmistusvuosi: 2007

Asennusvuosi: 2007

Laitteen yleiskuvaus: Plasma enhanced chemical vapour deposition tool.

Käyttö: Fabrication of carbon nanostructures and microdiamonds.

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet: Experimental setup for generating carbon nano and microstructures from methane and hydrogen plasma.

Tärkeimmät spesifikaatiot:

Valokuva:

Sijainti:

Kaupunki: Joensuu