Laser holographic lithography

Organisaatiot: Itä-Suomen yliopisto » Fysiikan ja matematiikan laitos (Joensuu)

Nimi ja malli: Spectra Physics BeamLok 2080-20

Yhteyshenkilö: Pertti Pääkkönen

Valmistusvuosi: 2004

Asennusvuosi: 2004

Laitteen yleiskuvaus: BeamLok 2080-20 Ar-ion laser.

Käyttö: Holographic recording of an interference pattern on photoresist.

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet:

Tärkeimmät spesifikaatiot:

Laser unit	BeamLok 2085-20
Beam wavelength	363,8 nm
Continuous beam power	>1,3 W @ 363,8 nm
	Total 20 W for all wavelengths
Beam 1/e² diameter	1,9 mm
Beam divergence	0,45 mrad full angle
Polarization	>100:1
Mode spacing	84 MHz

Valokuva:

Sijainti:

Kaupunki: Joensuu

Powered by Evianet Solutions Oy