Surface profiler

Nimi ja malli: Veeco Dektak 150+

Yhteyshenkilö: Pertti Pääkkönen

Valmistusvuosi: 2009

Asennusvuosi: 2009

Laitteen yleiskuvaus: Sufrace profiler with stylus.

Käyttö:

• Film thickness measurement

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet:

• Available stylii: 12.5 µm, 2.5µm
• Motorized XY stage 152 mm x 152 mm
• Step standard 4.454 µm 0.058 µm

Tärkeimmät spesifikaatiot:

• Horizontal scan range: 55 mm
• Vertical range: 1 mm
• Repeatability: 0.4 nm @ 0.1 µm step, 1 nm @ 1 µm step

Valokuva:

Sijainti: University of Joensuu, Department of Physics and Mathematics

Kaupunki: Joensuu