Optical profiler

Nimi ja malli: Veeco WYKO NT9300

Yhteyshenkilö: Pertti Pääkkönen

Valmistusvuosi: 2009

Asennusvuosi: 2009

Laitteen yleiskuvaus: Scanning white light interferometer.

Käyttö:

• Measurement of surface profiles 
• Measurement of surface curvatures
• Measurement of surface roughness

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet:

• Motorized XY table 155 mm x 155 mm
• Motorized tip-tilt optics head
• Objectives: 2.5x, 20x, and 50x
• Field multipliers: 0.55x, 1.0x and 2.0x
• Field stitching capability
• Measurement and analyzing software

Tärkeimmät spesifikaatiot:

• Vertical resolution: < 0.1 nm RMS
• Max slope angle: objective dependent, 1.9° (2.5x), 14.2° (20x), and 26.7° (50x)
• Vertical range: 10 mm, 24 µm/sec
• Horizontal resolution: objective dependent down to 0.5 µm
• Horizontal range: objective dependent, field stitching available

Valokuva:

Sijainti: Univeristy of Joensuu, Department of Physics and Mathematics

Kaupunki: Joensuu